Термофизические свойства тонких пленок становятся все более значимыми при изучении полупроводниковых материалов, светодиодов, технологий записи оптических дисков-носителей и их памяти, основанной на изменении фазовых переходов, создании плоских экранов. В этих отраслях тонкая пленка наносится на подложку для придания прибору особой функции. Поскольку физические свойства тонких пленок отличаются от свойств материала в объеме, эти данные необходимы для точного прогнозируемого управления тепловыми процессами. Основанный на общепризнанном методе лазерной вспышки, прибор Linseis LaserFlash для тонких пленок (TFA) предлагает теперь целый диапазон новых возможностей для анализа термофизических свойств тонких пленок толщиной от 80 нм до 20 мкм.
Комбинирование метода высокоскоростной лазерной вспышки RF и Метода термоотражения в неустановившемся режиме FF
Технические характеристики анализаторов теплопроводности и температуропроводности тонких пленок TFA:
Температурный диапазон |
Комнатная температура, |
Лазер накачки |
Nd:YAG-лазер, |
Зондирующий лазер |
HeNe лазер, 632 нм, мощность 2 мВт |
Скорость нагревания и охлаждения |
от 0,01 °С/мин до 10 °С/мин |
Диапазон температуропроводности |
от 0,01 мм2/с до 1000 мм2/с |
Диапазон теплопроводности |
от 0,1 Вт/м*К до 2000 Вт/м*К |
Диаметр образцов |
от 10 мм до 20 мм |
Толщина пленок |
от 80 нм до 20 мкм |
Параметры лазерного зонда |
HeNe - лазер (632 нм, 2 мВт) |
Параметры испускающего лазера |
Nd: YAG, энергия импульса регулируется до 90 мДж/импульс, длительность - 8 нс |
Фронтальное термоотражение |
Детектор на основе кремниевого PIN фотодиода, активный диаметр 0,8 мм, |
Параметры детектора для нагрева |
Квадрантный диод, активный диаметр 1,1 мм, |
Атмосфера |
инертная, окислительная, восстановительная, вакуум до 10-4 мбар. |
График измерения термофизических параметров пленок ZnO. Возрастание температуры от времени.
График измерения термофизических параметров пленок ZnO: контактного термического сопротивления и удельной теплопроводности от времени.